腾博会官网

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      AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人

      AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人
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      • AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人
      • 产品描述
      • 规格参数
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        • 商品名称: AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人
        • 产品: 半导体机器人
        • 应用: 真空晶圆系列
        • 负载: 1-2KG
        • 臂长: 200-499mm

        AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

        4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人
        AHYQ3510F_AHY系列半导体机器人
         
        • ● 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
        • ● 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
        • ● 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
        • ● 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制
        • ● 同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）

        臂长

        355.5mm

          额定/最大负载

         ≤1kg

        搬运物

        ≤Φ300mm晶圆

        腾博会官网众为兴AHYQ7010F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人

      • 腾博会官网众为兴AHYQ7010F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人

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      AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人

      AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

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